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鈦靶材高純鈦靶制備工藝流程

發(fā)布時(shí)間 :2021-06-04 16:13:23 瀏覽次數(shù) :

眾所周知,鈦靶材的技術(shù)發(fā)展趨勢與靶材的制備發(fā)展趨勢息息相關(guān),隨著應(yīng)用產(chǎn)業(yè)在薄膜產(chǎn)品或元件上的技術(shù)改進(jìn),靶材技術(shù)也應(yīng)隨之變化。下面就跟著巨偉鈦業(yè)起來了解下靶材的制備方法吧!

1、先用化學(xué)方法制成銦錫氧化物化學(xué)復(fù)合粉末,或者將單體氧化銦粉末和單體氧化錫粉末按9: 1質(zhì)量比混合,制成機(jī)械復(fù)合粉末。粉末呈球形或準(zhǔn)球形,平均粒徑為30 ~ 200nm,純度為99%,無硬團(tuán)聚。

2、將復(fù)合粉末在1 350℃氧氣氛中進(jìn)行脫氧處理。

3、把復(fù)合粉末裝入包套內(nèi)進(jìn)行冷等靜壓。冷等靜壓介質(zhì)為油,壓力為200~280MPa,保壓時(shí)間為10min。獲得的粗坯密度為理論密度的45%~55%。

4、粗坯裝入相應(yīng)尺寸的容器內(nèi)。容器與粗坯間隔以金屬鉭膜或鎳膜或鈮膜或鉑膜,以阻止它們在高溫高壓下發(fā)生反應(yīng)。

5、抽真空,封裝有粗坯的容器。

6、將上述容器放入熱等靜壓爐中進(jìn)行熱等靜壓處理。熱等靜壓溫度為1 100~1 300℃,保溫時(shí)間為0.5~6h,氬氣氛壓力為100~120MPa。

7、熱等靜壓后用稀硝酸酸洗去除碳鋼容器,剝離金屬箔隔層,獲得靶材。

8、用線切割方法切割靶材,獲得所需尺寸的產(chǎn)品。

冷等靜壓包套(用橡膠制成)和熱等靜壓容器(由碳鋼制成,為方拄形或圓柱形)是由中南工業(yè)大學(xué)根據(jù)靶材點(diǎn)而門設(shè)計(jì)。

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巨偉鈦業(yè)專注生產(chǎn)各種濺射靶材,鉻靶、鎳靶、鋯靶、鋁靶材等的深加工,產(chǎn)品純度高,還可進(jìn)行有關(guān)使用方面的技術(shù)指導(dǎo),如果您有需要,歡迎聯(lián)系巨偉鈦業(yè)詳詢。

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